SC26

產品名稱:電鏡屏蔽/主動消磁系統
產品型號:SC26
   牌:英國
SpicerConsulting 
   地:英國

產品參數

晶片傳輸機器人在300 mm的晶片中活動,會產生9 KHz的磁場,會限制電子束的性能,以及下一個半導體CD節點。SC26是一種寬帶消磁系統,可以實現從DC9 KHz以上范圍的磁場消除。為了實現寬帶消磁,SC26采用低電感場消除電纜,安裝在電子束工具附件中。

SC26具有2200 KHzAC磁場傳感器(藍色),可以耦合,優化電子束性能,對于低至10 Hz的磁場具有良好效果。也可以用于DC磁場消除,只需每個通道添加一個SC24/DC+AC傳感器和一個傳感組合器。

SC26并不像SC24那樣安裝使用,不能用粗線纜構建一個房子結構,從而獲得較低的磁場。

在電子束300 mm的范圍內獲得良好的消磁效果

實時、寬帶消磁,從DC9 KHz以上磁場

磁場躍變響應速度:10μs以內
通過穩定磁場環境確保您購置的電子束科技設備應有性能 
消除和監測交流磁場

自動運行,連續實時補償磁場 

完整的X, Y, Z三軸消磁系統
可消除場強高達60mG (6.0 μT) pk-pk智能用戶界面,顯示系統需為3.5英寸以上LCD TFT 彩色面板,其參數設定及操作皆為微電腦控制

可同時顯示ACDC磁場值,單位可選高斯或者特斯拉
X&Y&Z軸磁場檢出<RMS250uG RMS OK綠色指示燈會亮
高靈敏度傳感器,可精確反饋環境磁場變化;支持雙傳感器,用于抵消TEM透射電鏡和高突變環境磁場 
USB
監控端口

本設備為免校正儀器,其內部的自我歸零功能會自動校正
低成本高性能系統

 

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